ICP-MS的原理與 ICP-OES 不同：

在高溫等離子體中，樣品被電離為帶正電的離子(通常是一價正離子 M?)，這些離子隨后被引入真空系統，進入質量分析器(如四極桿)，按其質量/電荷比(m/z)  進行分離，并通過檢測器逐個計數。

本質上，ICP-MS 干了兩件事：

1、分辨離子是誰：根據 m/z(質量數/電荷)判斷是哪種元素;

2、統計離子有多少：離子的計數頻率與元素濃度成正比。

ICP-OES 測的是：“發光強度"不同，ICP-MS 測的是：單位時間內通過檢測器的離子數(計數率)

1、地球化學和環境科學：用于分析土壤、水、氣和巖石中的稀有元素和有毒金屬;

2、生命科學：在制藥、生物技術和臨床診斷中用于定量和定性分析生物樣品中的金屬和非金屬元素;

3、材料科學和工程：用于分析材料和涂層中的元素，以及研究材料的性能和組成;

4、半導體制造和電子工業：對半導體材料進行質量控制和過程監測，以及分析電子產品中的污染物;

5、石油和能源行業：用于分析燃料和油藏中的微量元素，以及評估地下水位的污染情況。